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Holmarc 的探針臺顯微鏡配備了無窮遠校正光學(xué)系統(tǒng)，用于觀察和將探針置于樣品觸點上。經(jīng)過高度校正的長工作距離全變色物鏡可提供超高質(zhì)量的圖像。長工作距離計劃全色物鏡可觀察多層樣品。HO-PSM 系列顯微鏡配有四重旋轉(zhuǎn)鼻托（4 鏡切換轉(zhuǎn)塔），物鏡安裝螺紋為 M26 X 0.706，準(zhǔn)焦距為 95 毫米。高亮度白光 LED 燈（帶強度可調(diào)選項）可用于顯微鏡和角度照明。

應(yīng)用領(lǐng)域包括故障分析、LED、MEMS、光電子、器件表征、晶圓級可靠性等。我們提供一整套附件，使您能夠定位、導(dǎo)航和接觸晶圓或被測設(shè)備。

規(guī)格

顯微鏡

光學(xué)系統(tǒng)：無限校正（200 毫米管狀鏡頭）

觀察方法：明視野

照明 ： 反射式（同軸和成角度）

照明系統(tǒng)：高亮度白色 LED

鼻托：旋轉(zhuǎn)式，四重，帶正向精確單擊停止裝置

觀察頭：Siedentopf 三目觀察頭，30 度傾斜，48 - 75 毫米 IP 調(diào)節(jié)

目鏡：寬視場目鏡

放大倍率：10 倍，F(xiàn)N：20 毫米

鏡筒直徑：30 毫米，屈光度可調(diào)

調(diào)焦：滾輪導(dǎo)軌（齒輪齒條式）

物鏡：Plan Apo 5X

類型：長工作距離 Plan Apochromatic 物鏡

NA：0.14，工作距離：34 毫米，焦距：40 毫米

帶目鏡時的視場角：4 毫米

帶相機的視場角：1.14 x 0.856 毫米，1.426 對角線

相機規(guī)格

光學(xué)鏡頭：1/2.5 英寸 CMOS

有源相機尺寸：5.70 毫米 x 4.28 毫米，對角線 7.13 毫米

有效像素：2592 x 1944（5 百萬像素）

像素尺寸：2.2 x 2.2 um

彩色濾光片陣列：RGB Bayer 模式

快門類型 ： 全局重置釋放 (GRR)、僅快照、電子滾動快門 (ERS)

最大數(shù)據(jù)速率/主時鐘：96 Mp/s（96 MHz，2.8 V I/O），48 Mp/s（48 MHz，1.8 V I/O）。

幀頻 ： 全分辨率 - 可編程至 15 幀/秒，VGA（640 x 480，帶分檔） - 可編程至 70 幀/秒

ADC 分辨率：12 位，片內(nèi)

像素動態(tài)范圍：70.1 dB

工作溫度：-30°C 至 +70°C

功耗：全分辨率 15 fps 時為 381mW

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