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產品簡介
硅片超聲波清洗機 該設備用于晶圓片擴散、蒸發、CAV生產前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序為純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。
詳細介紹
硅片超聲波清洗機概述：
該設備用于晶圓片擴散、蒸發、CAV生產前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序為純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。其工藝性能指標及可靠性*達到進口同類設備水平，但價格、售后服務、備品備件的供給等是進口設備*的。
硅片超聲波清洗機主要特點：
采用進口PP板制作。
適用2-6寸硅片清洗。
超聲功率強勁，性能穩定。
超聲波清洗原理：
由超聲波發生器所發出的高頻超聲振蕩信號，通過換能器轉換成高頻機振蕩而傳播到介質—清洗溶劑中，利用超聲波在清洗溶劑中的“空化作用”，使液體流動而產生數以萬計的小氣泡，這些氣泡在超聲波縱向傳播成的負壓區形成、生長，而在正壓區迅速破裂，就是在這種被稱為“空化”效應的過程中氣泡破裂產生超過1000個大氣壓的瞬間高壓，連續不斷產生的瞬間高壓產生一串小“爆炸”不斷地沖擊被清洗物體的表面，孔隙、縫道，使物體表面及縫隙中的污垢迅速剝落，從而達到被清洗物件凈化的目的。因此利用超聲波清洗質量好、速度快。對一般常規清洗方法，可達到清潔度要求，尤其對幾何形狀比較復雜，帶有各種小孔，彎孔和盲孔等被清洗物件，采用超聲波清洗的潔凈效果更為明顯。