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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,生物產業,石油,能源,電子/電池 |
MCV和MCE聯系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現污染情況。
產品簡介
詳細介紹
真空應用流量控制器的特征如下：與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準MFC實現端對端的匹配連接。
MCV和MCE聯系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現污染情況。
多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
真空應用流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。
任何天氣條件下均可準確完成空氣流量校準
簡單升級老化的熱式流量控制器
性能
可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
可重復性：0.2%滿量程
標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）
無需預熱時間
工作條件
兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
Alicat產品采用層流差壓式原理，擁有LFE技術，憑借航天級水準，長期支持美國航天局(NASA)、SpaceX探空火箭項目，并為科研及工業領域提供快捷、穩定的技術解決方案。
產品類型：氣體或液體質量流量計、質量流量控制器、壓力計、壓力控制器。
客戶行業：實驗科研、環境保護、生物醫藥、過程控制、能源化工、半導體電子以及相關的公共事業。
應用領域：計量檢測、泄漏測試、生物發酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。