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Alicat質(zhì)量流量控制器助力MDC氣體輸送模塊
Alicat MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器已經(jīng)集成到MDC的真空產(chǎn)品XpressStick™MFC氣體棒中。
Alicat MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可以精確控制高達(dá)20SLPM的氣體流量，為氣體輸送模塊提供氣體編譯功能，將壓力氣體輸入到真空室。
1、MCE系列質(zhì)量流量控制器的精準(zhǔn)控制
Alicat MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器精確控制氣體流量低至0-0.5 sccm全刻度或高至0-20 slpm全刻度。
通過(guò)20到50毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間來(lái)改變?cè)O(shè)定值，MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制可以改善真空鍍膜終端產(chǎn)品。
2、MCE系列質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用原理
XpressStick MFC氣體棒的一體化設(shè)計(jì)消除了復(fù)雜的硬件規(guī)格。專為超高純度的工藝要求，XpressStick也提供用于腐蝕性環(huán)境的不銹鋼模型。
隨著MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器的零預(yù)熱時(shí)間，XpressStick可以在一秒鐘內(nèi)控制工藝流程，實(shí)時(shí)檢測(cè)質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，*補(bǔ)償外界溫度和壓力的影響。
氣體模塊直接通過(guò)MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器的集成顯示進(jìn)行編譯，使用車載氣體校準(zhǔn)可以輕松地更改氣體類型。
3、客戶反饋
MDC技術(shù)副總裁James Moore說(shuō)：“在為我們的XpressStick選擇質(zhì)量流量控制器時(shí)，快速響應(yīng)時(shí)間、準(zhǔn)確性和可靠性都是關(guān)鍵的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)Alicat的經(jīng)驗(yàn)，我們知道他們可以滿足這些要求。”
Alicat質(zhì)量流量控制器、壓力控制器在世界各地的真空鍍膜工藝中廣泛應(yīng)用。