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INFICONSion™射頻檢測器

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  • 型號 Sion™
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  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 上海市
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更新時間:2019-05-15 09:35:00瀏覽次數:248

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產品簡介

產地類別 進口
INFICONSion™射頻檢測器
等離子體加工期間的電弧放電可造成靶和腔室損壞,因而導致基材受損并形成顆粒。隨著特征尺寸的下降,微電子設備越來越容易出現電弧引發的損壞。電弧放電可出現在任何等離子輔助過程中,例如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻。

詳細介紹

瑞軒電子科技(上海)有限公司-------*儀器儀表供應商專業提供

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例如電離物理氣相沉積 (iPVD) 等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻 INFICON Sion 弧檢測器可提供至關重要的*道防線 Sion 能夠快速檢測到微弧并在明顯損傷或廢料出現之前對其作出反應 系統可對等離子微電弧事件進行實時檢測和分析

公司經營品牌:GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E+E,美國華瑞RAE,梅思安MSA,德爾格Draeger,德國IKA,美國奧豪斯,美國哈希hach,安捷倫等品牌,派克Parker,阿托Atos,力士樂Rexroth,哈威Hawe,德國KK,英國Time Electronics,美國斯坦福,英國密其,德國LR-Cal,德國Schleich,澳大利TPS,德國卡爾德意志等進口品牌

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