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德國(guó)馬爾Mahr表面三維形貌光學(xué)輪廓儀介紹

閱讀:2916        發(fā)布時(shí)間:2020-2-2

德國(guó)馬爾激光共聚焦顯微鏡(光學(xué)輪廓儀)技術(shù)參數(shù) 
1. 測(cè)量原理:非接觸,激光共聚焦 
2. 掃描模塊: 
2.1 XY方向測(cè)量范圍50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm(可選),馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 
2.2 XY方向平臺(tái)分辨率0.5um 
2.3 Z方向位移范圍100mm 
2.4 大測(cè)量速度50mm/S. 
3. 傳感器模塊 
3.1 共聚焦傳感器,激光光源1.5 μm spot size,1 kHz data rate 
3.2 Z方向分辨率0,02um 
3.3 XY方向分辨率1um,可連續(xù)一次掃描成像,大范圍達(dá)到200mmX200mm 
3.4 工作距離 4mm 
3.5 Z方向測(cè)量范圍1mm 
4 系統(tǒng)配置 
4.1 計(jì)算機(jī):高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng); 
4.2 配有專業(yè)工作臺(tái), 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 
4.3 可為CF傳感器選配離軸攝像頭(10X),大視野8 x 6 mm2 
4.4 功能全面的軟件 

4.5 數(shù)據(jù)分析:輪廓測(cè)量、寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析 

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