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jia的氣囊運動，有效提高壓力的承受能力，以維持穩(wěn)定的流量和負(fù)載頻繁變化下的吐出壓力，尤其在單晶圓處理過程中。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
易威奇IWAKI低脈動氣動風(fēng)囊泵
FLP-60W
低脈動氣動風(fēng)囊泵
低脈動
*的系統(tǒng)驅(qū)動機(jī)制，確保氣囊jia運動效果，將脈動減到低。
減低壓縮空氣消耗量
在不影響泵的性能下，減少高達(dá)30%的壓縮空氣消耗量。
高持續(xù)壓力
jia的氣囊運動，有效提高壓力的承受能力，以維持穩(wěn)定的流量和負(fù)載頻繁變化下的吐出壓力，尤其在單晶圓處理過程中。
無需阻尼器
泵的運作無需使用阻尼器，節(jié)省設(shè)備空間及安裝費用，例如氟塑料接管等。整體設(shè)備的重量/尺寸得以小化。
規(guī)格
大流量 L/min | 50 | ||||
大脈動寬度 MPa | 0.06 | ||||
液體溫度范圍 °C(MPa) | 5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3) | ||||
壓縮空氣壓力范圍 MPa | 0.41 ~ 0.5 | 0.31 ~ 0.4 | 0.21 ~ 0.3 | 0.11 ~ 0.2 | 0.1 |
gao沖程率 spm | 120 | 140 | 155 | 160 | |
大壓縮空氣消耗量 NL/min | 464 | 419 | 338 | 252 | 116 |
大粘度 mPa·S | 50 | ||||
吸程 m | 1 | ||||
環(huán)境溫度 / 濕度 °C/%RH | 0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝) | ||||
儲存溫度 / 濕度 °C/%RH | -10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝) | ||||
操作方式 | 間隔 /連續(xù) | ||||
驅(qū)動方式 | 外部壓縮空氣 | ||||
接頭尺寸 mm | Ø25 x Ø22 軟管 | ||||
壓縮空氣接頭尺寸 | Rc3/8 | ||||
空氣端口 | Ø6 一觸式接頭 | ||||
重量 kg | 22 | ||||
