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供貨周期 | 一個月 | 規格 | 1 |
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貨號 | BRG-1B | 應用領域 | 環保,電子/電池,電氣 |
主要用途 | 量規 | 測量范圍 | 10-6~10Pa |
canon-anelva量規BRG-1B真空計
canon-anelva量規BRG-1B真空計
電容式壓力表“M-342DG”采用小型硅MEMS芯片作為壓力傳感器,將溫度、振動和大氣壓力波動等外部環境的影響降至,從而實現高精度和穩定的壓力測量。達到最小調零頻率
型 名 | LG-11S | UGD-1S | BRG-1B | |
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ゲージタイプ | シュルツゲージ | B-Aゲージ | ワイドレンジB-Aゲージ | |
形狀 | ガラス管狀 | |||
被測定真空室 との接続 | φ15ゲージポート(Oリング) |
用 支持各種高精度、長期穩定的真空壓力測量 各種真空器件,如半導體、顯示器、太陽能電池等。 ? 真空成膜過程壓力控制和監測,如濺射和PECVD ?負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導入工序、系統壓力控制 醫療、生物科技、食品等行業,以及各種研發應用 各種鍍膜、等離子處理、真空密封、真空爐、分析儀、殺菌、真空泵評價、分子蒸餾等
型名 | M-342DG | ||||
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-1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
フルスケール圧力(Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
測定精度(% of reading) | 0.20(at 23℃) |
ゼロ點溫度係數(% of F.S./℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
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スパン溫度係數(% of reading/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
分解能(% of Full-scale) | 0.01 | 0.005 | |||
測定下限圧力(% of Full-scale) | 0.01 | ||||
実用測定下限圧力(% of Full-scale) | 0.05 |
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