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| 供貨周期 | 一個月 | 規格 | 1 |
|---|---|---|---|
| 貨號 | BRG-1B | 應用領域 | 環保,電子/電池,電氣 |
| 主要用途 | 量規 | 測量范圍 | 10-6～10Pa |
canon-anelva量規BRG-1B真空計
canon-anelva量規BRG-1B真空計
電容式壓力表“M-342DG”采用小型硅MEMS芯片作為壓力傳感器，將溫度、振動和大氣壓力波動等外部環境的影響降至，從而實現高精度和穩定的壓力測量。達到最小調零頻率
| 型 名 | LG-11S | UGD-1S | BRG-1B | |
|---|---|---|---|---|
| ゲージタイプ | シュルツゲージ | B-Aゲージ | ワイドレンジB-Aゲージ | |
| 形狀 | ガラス管狀 | |||
| 被測定真空室 との接続 | φ15ゲージポート（Oリング） | |||
用 支持各種高精度、長期穩定的真空壓力測量 各種真空器件，如半導體、顯示器、太陽能電池等。 ? 真空成膜過程壓力控制和監測，如濺射和PECVD ?負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導入工序、系統壓力控制 醫療、生物科技、食品等行業，以及各種研發應用 各種鍍膜、等離子處理、真空密封、真空爐、分析儀、殺菌、真空泵評價、分子蒸餾等
| 型名 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| フルスケール圧力（Pa） | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 測定精度（％ of reading） | 0.20(at 23℃) | ||||
| ゼロ點溫度係數（％ of F.S./℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| スパン溫度係數（％ of reading/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分解能（％ of Full-scale） | 0.01 | 0.005 | |||
| 測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.01 | ||||
| 実用測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.05 | ||||
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