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HORIBA堀場TMAH濃度監(jiān)測儀HE-960H-TM
總覽
控制顯影液TMAH的濃度
HE-960H-TM可以測量TMAH（四甲基氫氧化銨）的濃度，TMAH是半導體和液晶工藝中使用的光刻膠顯影劑的主要成分。傳感器FES-510系列適用于TMAH測量，因為它具有寬范圍寬度和高耐化學性。
使用具有出色耐化學性的碳傳感器
特征
廣泛的支持
自動切換顯示范圍
可以測量三種類型的TMAH濃度，電導率和溫度
使用耐化學腐蝕碳傳感器
傳輸輸出4通道
24V DC電源
符合RoHS的產品
形式 | HE-960H-TM |
|---|---|
測定方式 | 導電率測定－濃度換算 |
周囲使用溫濕度 | 溫度：－5～45℃、濕度：20～85%（結露しないこと） |
電源 | DC24V ±10% 10W（max） |
保護構造 | パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部IP00（パネル取付屋內設置型） |
質量 | 約550g |
適合規(guī)格 | CEマーキング、FCC Part15 |
適合センサ | FES-510シリーズ（流通型カーボンセンサ） |
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