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HE-960H-PA磷酸鹽濃度監測儀HORIBA堀場
總覽
磷酸濃度監測儀HE-960H-PA可以監測半導體蝕刻工藝中所用磷酸（濃度為80-90wt％的溫度：20-100℃范圍內）的磷酸濃度。
采用玻璃碳傳感器，可以地抑制高濃度下的極化影響，并且僅用磷酸的濃度就可以測量出80-90wt％的濃度。
特征
半導體蝕刻工藝中的磷酸濃度監測
過程監控應用的理想選擇
提供4ch傳輸輸出（模擬）
提供5ch觸點輸出
提供數字輸出RS485
采用玻璃碳電極（自適應傳感器：FES-510系列）
準確測量高濃度磷酸
製品名 | 高濃度リン酸濃度計 |
|---|---|
型式 | HE-960-PA |
測定範囲 | リン酸濃度 80-90wt% |
伝送出力 | 4點 |
通信出力 | RS-485 |
電源 | 定格電圧 DC 24V 10W(max.) |
外形寸法 | 96(W) mm x 96(H) mm x 115(D) mm |
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