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詳細介紹
MAY-3001F-TMAH 電子級顯影液濃度監控儀
MAY-3001F-TMAH半導體電子級硝酸濃度實時監控系統，采用數字 CCD (光電耦合器)檢測光學圖像和分界陰影線，將圖像信息逐點轉換成電信號，測得分界陰影線的確切位置，從而測得 nD ；探頭內置溫度探頭，實時測量出界面處介質溫度，MAYZUM-V6.3濃度數據處理系統根據獲得的 nD 和 T，自動進行溫度補償，計算并顯示出氨水的濃度值。具有探頭狀態自診斷功能、自助建模、測量值與滴定值曲線修正、線性誤差修正、RI校準、自定義多點溫度補償值、自清洗控制、上下限設定及聲光報警等功能,適應多種復雜工況,依據用戶現場工況靈活設定,精度更高,重復性好,數據更可靠。
TMAH顯影液是一種電子級四甲基氫氧化銨顯影液，廣泛應用于高精度顯示器、集成電路半導體、印刷基板等制造過程中的顯影工序。顯影液電子級在線濃度儀則被廣泛用于電子級及半導體行業中，實現對顯影液溶液濃度的在線自動檢測。
半導體電子級硝酸濃度實時監控系統技術參數：
儀器型號 | MAY-3001F-TMAH |
過程流體 | 顯影液TMAH |
濃度范圍 | 0-25% |
分辨率 | 0.01% |
精準度 | 0.1% |
觸液材質 | PTFE、PEEK等 |
耐溫溫度 | 0-100℃ |
防護等級 | 觸液部分IP67 |
耐壓范圍 | ≤1MPa |
信號輸出 | ￡4-20mA模擬量、￡RS485/232數字量、￡開關量（異常報警,上下限2路輸出） |
防爆等級 | 傳感器：本安型Ex ia IIC T4 Ga |
其它選項 | 分體式數據看板、多通道數據采集控制系統（支持120通道）、PC端數據采集系統、無線數據遠傳模塊 |
特殊標度 | 非標定制，按客戶需求建立數據模型 |
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