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三坐標測量儀除了定位誤差,直線度誤差,角運動誤差,垂直度誤差這四個幾何誤差之外，還有由于力變形、熱變形、測量系統、測頭系統、控制系統、數據記錄和處理系統產生的誤差：

1．力變形誤差

三坐標測量儀作為一種精密測量儀器應有較高的剛性，使力變形不成為影響三坐標測量儀測量精度的重要因素。但隨著各行業生產節奏的加快，對三坐標測量的效率要求也提高了，包括較高的運動速度和探測速度，這就要求它的運動部件質量要輕，但這與提高構件的剛度存在矛盾。

2．熱變形誤差

要了解三坐標測量儀的熱變形，首先要對儀器及被測物件及環境的溫度進行測量。為了實現熱變形誤差補償，需要在三根標尺上、被測件上貼測溫元件，在空氣中也需放置測溫元件，以檢查環境溫度及溫度梯度是否符合要求。只有在環境溫度符合要求時，檢驗測量儀的性能才有意義，同時三坐標測量儀的測量精度誤差也會大大減少。如果條件允許，測量建議您可以把儀器放置在恒溫室里，控制好室內的溫度和濕度即可。

為了實現誤差補償，除了測量溫度外，還必須知道標尺和被測件的等效線膨脹系數。所謂等效線膨脹系數是指實際機器中除與材料有關，還和固定方式有關，所以通過實測得到等效線膨脹系數既可以更好地反映標尺的使用狀態及熱變形誤差現狀，又符合一致性原則，因為采用同一測溫元件確定等效線膨脹系數和進行誤差補償，消除了測溫元件溫度標定誤差的影響。

3．測頭及附件誤差    

三坐標測量儀的位移量z是被測尺寸L與測端等效直徑d的和(測量外尺寸)或差(測量內尺寸)，因此測端等效直徑的標定具有重要意義。測端等效直徑的標定方法是用測頭測量尺寸經過標定的標準球或量塊，儀器移動量與標準球或量塊尺寸之差即為測端等效直徑。需要指出的是：由于測桿的彈性變形對測球的等效直徑影響很大，因此更換測桿、加接長桿、接轉接體或回轉體轉動角度后，都要對測端的等效直徑進行重新標定。