對精密顯微鏡的清潔方法不當有可能會降低器件的性能，更容易破壞器件的表面鍍膜。所以正確取放器件并將器件保存在容器中，將大限度地減少清潔次數和器件被損壞的可能性。
首先應根據環境按比例調配酒精的溶液來進行光學零件表面清潔工作。
1、用清潔空氣球吹掉表面的灰塵。如果不能吹干凈，可取兩張鏡頭紙裹在棉簽上或將鏡頭紙折疊使其比需清潔的面積稍大一些。
2、在擦拭前，操作人員應用洗滌液仔細清洗雙手，并用脫脂過的毛巾擦干。
3、在擦拭光學零件表面時，應先用石油將毛砂面和框擦干凈。
4、在擦拭棱鏡時應先將棉球橫放于被擦拭范圍的表面，同時以直線形式進行擦拭。
5、在擦拭圓形零件時，棉花球應從中心向邊緣作螺旋線移動，且棉花球本身也應轉動，并將棉球從鏡片表面移出，切記不要在鏡片邊緣停留，以免留下任何印跡，如果是利用回轉器擦拭，在擦拭時，棉球應先由中心向邊緣作直線移動，棉球本身同時也會跟著轉動。
6、在擦拭膠合光學零件時，棉球蘸混合液也不宜過多，以免溶劑浸入膠合層而引起脫膠。
7、應在相對清潔的空間內進行清潔，并用脫脂長絨棉輕輕擦拭，且棉球上所含的清洗液不宜過多，在擦拭時應在分劃板刻線的交叉方向移動擦拭，以更好的避免將刻線內的填料層擦掉。
8、同時鍍鋁加保護膜的反射零件，如果保護膜較牢，建議用蘸少許混合液的棉球或脫脂的砂布進行擦拭。
9、注意棉球應先卷好，卷棉球的竹棍頭部不要外露，更好的避免劃傷零件。棉球的大小和形狀應隨零件的大小和種類不同而變為適度大小。蘸混合劑的棉球浸入溶劑內時，不要超過三分之一的棉球長度。
10、然后，操作人員應將室內的一切用具都擦拭清潔，凡是有關與光學零件接觸的工具、夾具，都應先進行脫脂。
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