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RUBIS晶圓鑷子的操作規(guī)程及注意事項
Rubis晶圓鑷子又叫做精密鑷子，導(dǎo)靜電鑷子，簡稱PEEK,具有耐高溫，耐磨損性，耐化學(xué)品腐蝕、阻燃、等諸多顯著優(yōu)勢。
1.進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室后，應(yīng)先戴上手套后，再取鑷子,以免沾污。
2.唯有使用干凈的鑷子，可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。
3.鑷子使用后,應(yīng)放于各站規(guī)定處,不可任意放置,如有特殊制程用鑷子，使用后應(yīng)自行保管,不可和實(shí)驗(yàn)室內(nèi)各站之鑷子混合使用。
4.持鑷子應(yīng)采"握筆式"姿勢挾取芯片。
5.挾取芯片時，順序應(yīng)由后向前挾取,放回芯片時，則由前向后放回，以免刮傷芯片表面。
6.挾取芯片時，“短邊" (鋸狀頭)置于芯片正面，"長邊" (平頭)置于芯片背面，挾芯片空白部分,不可傷及芯片。
7.嚴(yán)禁將鑷子接觸酸槽或D.I WATER水槽中。
8.鑷子僅可做為挾取芯片用，不準(zhǔn)做其它用途。