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超聲波噴涂機(jī)用于半導(dǎo)體光刻的光刻膠涂層

閱讀:702      發(fā)布時(shí)間:2023-7-27
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與傳統(tǒng)的旋涂相比,采用超聲波噴涂的光刻膠涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢(shì),特別是沿著高縱橫比溝槽和 V 形槽結(jié)構(gòu)的側(cè)壁頂部,離心旋轉(zhuǎn)無(wú)法沉積均勻的涂層沿側(cè)壁涂膜,而不會(huì)在空腔底部沉積過(guò)多的光刻膠。

超聲波噴涂是光刻晶圓加工中光刻膠涂層的一種簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)且可重復(fù)的工藝。FUNSONIC的超聲波霧化鍍膜系統(tǒng)使用先進(jìn)的分層技術(shù)可以精細(xì)控制流速、鍍膜速度和沉積量。低速噴霧成型將霧化噴霧定義為精確、可控的圖案,避免過(guò)度噴涂,同時(shí)產(chǎn)生非常薄、均勻的層。使用超聲波技術(shù)的直接噴涂被證明是將光刻膠沉積到3D微結(jié)構(gòu)上的可靠且有效的方法,從而減少了因金屬過(guò)度暴露于蝕刻劑而導(dǎo)致的設(shè)備故障。

超聲波噴頭在光刻膠涂層工藝中的優(yōu)勢(shì):

  • 各種表面輪廓的均勻薄膜覆蓋。

  • 能夠以出色的均勻性涂覆高縱橫比的溝槽。

  • 無(wú)堵塞霧化噴霧。

  • 能夠沉積高度均勻的單微米薄層。

  • 可重復(fù)的成熟噴涂工藝。


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