微量氧分析儀主要半導體元件用熱敏元件和所述金屬電阻絲的類型。敏感半導體元件小，熱慣性小，大的電阻溫度系數，高的靈敏度，一個小的時間滯后。在鉑線圈作為傳感元件，則內電阻，圍繞作為補償元件的非反應性氣體的交界處材料的金屬氧化物燒結珠等于鉑相同體積的發熱線圈。構成該臂作為一個橋式電路，即，一個測量電路這兩個部件。金屬氧化物半導體氣體傳感元件吸附法測定的，并發生變化的電導率的速率即，散熱元件的狀態也改變。在鉑線圈的可變電阻的溫度變化，則存在在電橋輸出電壓，從而能夠檢測氣體濃度的不平衡。微量氧分析儀的應用非常廣泛，除了通常用于分析氫，氨，二氧化碳，二氧化硫含量和低濃度的可燃氣體，也可作為色譜檢測分析器，用于分析的其他組件。
當我們用微量氧分析儀測量氧含量時數值飄移不定，出現分析結果數據不準確。其主要原因是氧氣分析儀使用不當造成，以下僅談幾點影響測定的因素：
1.氧氣測定儀上的過濾器要潔凈。每使用過一段時間就要清洗過濾器或者更換過濾器來確保測得數值不飄移，只有這樣才能保證氧氣測定儀不被影響，所得數據正確。
2.氧氣測定儀的環境破壞。在使用氧氣測定儀時，環境的好壞也會對傳感器進行一定的干擾，適當的清理灰塵和清除污漬，這樣對傳感器的壽命也會增長使用。
3.管道材質的選擇。管道材質及表面的濕度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。通常選用不銹鋼管和四氟管。
4.氧氣測定儀的泄漏。氧氣測定儀在初次啟用前必須嚴格檢漏。氧分析儀只有在嚴密不漏的條件下才能獲得正確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進進管道及氧分析儀內部，從而得出含氧量偏高的結果。
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