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INSTEC XYZ模塊化高溫探針臺 HCP1000V-MPS
INSTEC XYZ模塊化變溫探針臺 HCP421V-MPS
INSTEC 半導體冷熱臺 TS102GXY TS102VXY
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣,綜合 |
mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學設備
可編程控溫，涵蓋RT~1000℃
適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
模塊化設計，可自由組合
| 溫度范圍 | 30℃~1000℃ |
| 加熱塊材質 | 陶瓷 |
| 傳感器/溫控方式 | 最大升溫速率 S / PID控制（含LVDC降噪電源） |
| 最大升溫速率 | 50℃/min |
| 最小溫控速度 | ±0.1℃/min |
| 溫度分辨率 | 0.1℃ |
| 溫度穩定性 | ±0.5℃ |
| 軟件功能 | 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線 |
| 探針 | 默認為錸鎢材質的彎針探針 |
| 探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 |
| 點針 | 從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置 |
| 探針接口 | 默認為SMA接頭轉BNC *可增設腔內接線柱（樣品接電引線） |
| 樣品臺面電位 | 默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口 |
| 適用光路 | 反射光路 |
| 窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
| 最小物鏡工作距離 | 8/12 mm （可選） *截面圖中WD |
| 上蓋窗片觀察 | 窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面圖中θ1 |
| 負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
| 適用樣品 | 25 mm*25mm |
| 樣品腔高 | 4/8 mm （可選） |
| 探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 粗調模式+微調模式，XY粗調20mm |
| 調節精度 | 10um |
| 氣氛控制 | 真空腔，也可充入保護氣體 |
| 外殼冷卻 | 可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近 |
| 臺體尺寸/重量 | 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5 kg |
基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件 安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、防震桌、真空系統、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線
| TP102V-MPS | 溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，樣品區,40mm*40mm |
| HCP421V-MPS | 溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區Φ26mm |
| HCP402V-MPS | 溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區 50mm*50mm |
| HP1000V-MPS | 溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區 25mm*25mm,真空腔室 |
| 定制型號 | 按客戶需求定制，最大適用300mm晶圓樣品 |
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