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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

FPD/LSI檢查顯微鏡

FPD/LSI檢查顯微鏡集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對(duì)比度和可操作性能方面都達(dá)到高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級(jí)檢查。

大觀察樣品:?300 mm晶片

L300ND/反射.透射照明兩用型

觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

使用CFI60光學(xué)系統(tǒng)，*消除耀斑影響，對(duì)比度更高，成象更加清晰、明亮；

物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長(zhǎng)工作距離兩方面的要求；

主機(jī)剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長(zhǎng)期操作也不易產(chǎn)生疲勞；

技術(shù)參數(shù)
	ECLIPSE L300N	ECLIPSE L300ND
	(落射照明型）	（透射/落射照明型）
主機(jī)	內(nèi)置12V-50W鹵素?zé)艄庠矗粌?nèi)置用于電動(dòng)控制器的電源
	用于物鏡轉(zhuǎn)換器的電動(dòng)控制器、鹵素?zé)袅炼瓤刂啤?/span>
	光圈葉片控制器
	物鏡轉(zhuǎn)換器：具備物鏡轉(zhuǎn)換器
	對(duì)中功能的電動(dòng)通用六座物鏡轉(zhuǎn)換器
	—	反射/透射切換器
調(diào)焦部分	對(duì)焦部:行程29mm
	粗調(diào):12.7mm/轉(zhuǎn)(可扭距調(diào)節(jié).帶重新對(duì)焦機(jī)能)
	微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn)(以um為單位)
反射照明部	12V50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置
	孔徑光闌（電動(dòng).可調(diào)心)、視場(chǎng)光闌（固定.帶對(duì)焦目標(biāo))
	可插入小孔光闌滑塊(OPTION)
	可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/檢偏器
	觀察方法：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉、反射熒光
	（僅用于L300N/L300ND/L200ND）
透射照明部	—	12W50W高亮度鹵素?zé)?/span> 照明裝置
		內(nèi)置孔徑光闌
		內(nèi)置LWD聚光器
接口	USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1
鏡筒	L2-TTA超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒（視角0～30°）
	視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/0：100
	L2-TT2A超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒（俯角0～30°）
	視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/20：80
	LV-T13正立三目鏡筒
	視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/0：100
目鏡	CFI目鏡
物鏡	CFI60系列物鏡
載物臺(tái)	14x12載物臺(tái)、行程354mmx302mm
	（透射觀察范圍：354mmx268mm）
	帶粗/微動(dòng)切換功能
	微動(dòng)手輪位置固定
防靜電功能	從1000到10V放電時(shí)間在0.2秒以內(nèi)
耗電	1.2A/90W
尺寸	約360(W)x581(H)x951(D)mm（傾斜角度為10°時(shí)）