三維表面形貌測量傳感器技術參數(shù)
大測量傾斜角:87°
大掃描高度:25mm
小測量楔角:20°
小測量半徑:2µm
小測量粗糙度(Ra):80nm
小測量粗糙度(Sa):50nm
垂直分辨率:20nm
位移距離(Z):26mm(自動調節(jié))
三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 是奧地利alicona公司專門針對生產(chǎn)中全自動測量形貌和粗糙度而設計的一款光學三維測量儀。
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