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| 穩(wěn)定度 | ±0.1% |
|---|
：（Spin Coater）適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
甩膠機(jī) 型號(hào)：KW-4C
臺(tái)式勻膠機(jī)：（Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
詳細(xì)介紹： 勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater)
行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái),甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂?jī)x等。
產(chǎn)品概述:
適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
1.帶防飛片保護(hù)與報(bào)警 2.帶防進(jìn)膠保護(hù)與報(bào)警 3.電機(jī)可正反轉(zhuǎn) 4.配方帶掉電保護(hù)功能 5.加速度可調(diào) 5.帶開(kāi)蓋保護(hù)(KW-4C-I型)
精度指標(biāo)
基片尺寸5-150mm
速度范圍1-10000RPM/1-12000RPM(KW-4C-I型)
轉(zhuǎn)速精度1RPM
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度±0.1%
加速度范圍1-10000RPM/S
膠均勻性±1%
控制信號(hào)指標(biāo)
人機(jī)界面4.3寸觸摸屏
通信接口可接無(wú)線鼠標(biāo)鍵盤(pán)：機(jī)器可放于手套箱內(nèi),同時(shí)客戶可在手套箱外遠(yuǎn)程操作機(jī)器
旋轉(zhuǎn)方向支持正反轉(zhuǎn)
觸控筆BAMBOO電阻筆(標(biāo)配)
真空泵AP-550V無(wú)油泵/FY油泵
編程模式參數(shù)
設(shè)置數(shù)據(jù)無(wú)限組數(shù)據(jù)，每組10段轉(zhuǎn)速(標(biāo)配)
每段時(shí)間0-10000秒
存儲(chǔ)數(shù)據(jù)無(wú)限組數(shù)據(jù)
電氣參數(shù)指標(biāo)
交流供電口AC100-250V
真空泵交流供電口AC220V(標(biāo)配) AC110V(選配)
功率200W
真空泵功率350W
真空泵抽速≥60L/MIN
機(jī)械尺寸參數(shù)
體積210mm(W)X220mm(D)X160mm(H)
重量10KG
泵重量9KG
使用環(huán)境參數(shù)
環(huán)境溫度0-40℃
相對(duì)濕度< 85%
放置于桌面可通過(guò)自帶水平儀調(diào)節(jié)機(jī)器水平
技術(shù)支持指標(biāo)
質(zhì)保期1年
臺(tái)式勻膠機(jī)：（Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
詳細(xì)介紹： 勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater)
行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái),甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂?jī)x等。
產(chǎn)品概述:
適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
1.帶防飛片保護(hù)與報(bào)警 2.帶防進(jìn)膠保護(hù)與報(bào)警 3.電機(jī)可正反轉(zhuǎn) 4.配方帶掉電保護(hù)功能 5.加速度可調(diào) 5.帶開(kāi)蓋保護(hù)(KW-4C-I型)
精度指標(biāo)
基片尺寸5-150mm
速度范圍1-10000RPM/1-12000RPM(KW-4C-I型)
轉(zhuǎn)速精度1RPM
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度±0.1%
加速度范圍1-10000RPM/S
膠均勻性±1%
控制信號(hào)指標(biāo)
人機(jī)界面4.3寸觸摸屏
通信接口可接無(wú)線鼠標(biāo)鍵盤(pán)：機(jī)器可放于手套箱內(nèi),同時(shí)客戶可在手套箱外遠(yuǎn)程操作機(jī)器
旋轉(zhuǎn)方向支持正反轉(zhuǎn)
觸控筆BAMBOO電阻筆(標(biāo)配)
真空泵AP-550V無(wú)油泵/FY油泵
編程模式參數(shù)
設(shè)置數(shù)據(jù)無(wú)限組數(shù)據(jù)，每組10段轉(zhuǎn)速(標(biāo)配)
每段時(shí)間0-10000秒
存儲(chǔ)數(shù)據(jù)無(wú)限組數(shù)據(jù)
電氣參數(shù)指標(biāo)
交流供電口AC100-250V
真空泵交流供電口AC220V(標(biāo)配) AC110V(選配)
功率200W
真空泵功率350W
真空泵抽速≥60L/MIN
機(jī)械尺寸參數(shù)
體積210mm(W)X220mm(D)X160mm(H)
重量10KG
泵重量9KG
使用環(huán)境參數(shù)
環(huán)境溫度0-40℃
相對(duì)濕度< 85%
放置于桌面可通過(guò)自帶水平儀調(diào)節(jié)機(jī)器水平
技術(shù)支持指標(biāo)
質(zhì)保期1年
