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?公司簡介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業(yè)大學。初致力于開發(fā)一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數(shù)載流子壽命、光電導率和電阻率等參數(shù)。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chǎn)品。
 --Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速，充滿活力，專業(yè)又具有創(chuàng)新的的分析儀器公司，產(chǎn)品廣泛應用于劑量學、醫(yī)學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發(fā)光年代測定和x射線衍射等領域。

?產(chǎn)品介紹 

 --德國Freiberg儀器的MDPspot（MDPspot臺式單點壽命檢測儀--少子壽命）是一臺低成本的臺式少子壽命測量系統(tǒng)，對不同制備階段的硅材料電學參數(shù)進行表征。沒有內置自動化。可選配手動z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。

 --MDPspot（MDPspot臺式單點壽命檢測儀--少子壽命）可配電阻率測試選項，常規(guī)僅適用于硅，也可用于沒有高度調整可能性的晶圓片以及晶錠，不過需對這兩個選項之一進行預定義。 

 --MDPspot配備結果可視化的標準軟件。

?設備特性

 --無接觸和非破壞的電學參數(shù)測試；

 --對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的高分辨率；

 --對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項。

?產(chǎn)品優(yōu)勢

 --用于不同制備階段，從成體到終器件，多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置；

 --體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結果可視化；

 --適用于晶圓片到晶錠，易于高度調整；

?技術參數(shù)