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超臨界干燥裝置利于超臨界狀態下，液體分子表面張力幾乎為零的優點，對凝膠內部液體物料進行干燥置換，在整個干燥過程中，幾乎不對其內部的納米級網絡結構造成擠壓變形和破壞，從而得到質量較好的凝膠固體。