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玻璃基板上金膜圖案化的加工實例分析

2023-4-3  閱讀(726)

玻璃基板上金膜圖案化的加工實例分析

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加工概述和特點

金膜厚度:100nm

加工區域:500μm ×500μm 間距:300μm

通過與外部AOM同步,脈沖ON/OFF以1μs的時間分辨率進行控制。

image.png

~內置外部AOM同步系統,實現1MHz的逐拍控制~

思百吉建立了一個系統,可以通過同步振蕩器和外部AOM來控制脈沖ON/OFF,時間分辨率為1μs。 通過使用該系統在加工過程中更改和設計圖紙圖案,我們實現了加工時間的縮短。

在這一開發中,我們實現了定期打開和關閉激光脈沖發射的控制。 將來,我們希望繼續進行開發,以便能夠以更高的自由度控制激光脈沖發射,例如掃描儀操作和與外部驅動軸的同步。

帶或不帶加工驗證內容的圖紙比較 _AOM

 

 




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