型號

WI-004^*1*2*3

參考距離

18 mm

測量范圍

Z

1.4 mm(標準模式)，0.7 mm(高速模式)

XY

4 × 4 mm

zui小檢測區域

15 × 15 µm

重復精度(段差)

0.1 µm^*4

直線性(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)^*5

測量用光源

類型

紅外線SLD

中心波長

830 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

3R 類

輸出

3.6 mW

引導用光源

類型

紅色半導體激光

波長

660 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

1 類

輸出

0.15 mW

采樣周期

內部觸發

133 ms(高速模式)，266 ms(標準模式)

外部觸發

zui快 266 ms(高速模式)，zui快 532 ms(標準模式)^*6

環境抗耐性

環境光照

白熾燈/熒光燈：5,000 lux 以下

環境溫度

0 至 +35 °C

相對濕度

20 至 85 % RH (無凝結)

重量

約 3000 g

KEYENCE WI-004 干涉式同軸 3D 位移測量儀測量頭、KEYENCE WI-004 干涉式同軸 3D 位移測量儀測量頭、