LS特種電機在半導體行業應用
隨著國內的半導體行業的發展,制程設備關鍵零部件,韓國LS特研制出的Spinner 空心軸高速伺服電機,有著20多年行業應用。服務于半導體晶圓電鍍,涂膠、顯影、清洗、固晶、蝕刻、晶圓鍵合、封測等設備中,該電機具備高加速度,速度范圍寬,高響應性等特點,在業內廣受客戶好評。
APM-HB01ACH APM-HB03HBH-GY APM-HB03HBH-CD APM-HB03HBH-CD1
APM-HB02ACH APM-HC07HCH-200 APM-HC06HCH APM-HB04AAH-DT
APM-HB04ACH APM-HE09ACH APM-HE15ACH APM-HE30ACH
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