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日本HORIBA METRON氣體質量流量控制器流量計
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的控制
良好的選擇性
化的零配件供應——傳感器、分流器、精密元器件日本進口

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S48 32/HMT 安裝尺寸圖：

日本HORIBA METRON氣體質量流量控制器流量計

編號	項目	S48 32/HMT
1	流量規格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	調節閥類型	電磁調節閥
3	調節閥靜止狀態	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%～*
6	流量測量范圍	0～*
7	響應時間	2s（T98，設定值的±2% F.S.）
8	工作環境溫度	5℃～50℃
9	精度保證溫度	15℃～35℃
10	精度	±1.0%F.S.
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	～5L/min (50～300)kPa(D) 5L/min～10L/min (100～300)kPa(D) 30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)
14	耐壓	3MPa
15	泄漏率	1×10-8 Pa•m3/s （He）
16	接觸氣體材料	316L,PTFE,Viton氟橡膠
17	管路接頭	Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18	供電電源	±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA	+24VDC(寬電壓+11～+25V), ＜250mA(+24Vdc供電時)
19	設定信號	(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
20	流量輸出信號	(0～5)VDC 負載能力≤3mA	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
21	電氣接頭	D-SUB15,D-SUB9
22	重量(kg)	0.9

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