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GFM/GFC 氣體質量流量計質量流量控制器
量程達1000L/min，可跟蹤的NIST證書 流量比率不受溫度和壓力變化的影響
高精度和高重復性
3位數字的液晶顯示
包括一份NIST跟蹤記錄證書
可與GFT流量累計器一起用于測定累計流量
GFC能控制流量比率，設置點通過現場電位器或通過一個遠程的0到5VDC或4到20mA模擬信號來進行調整。

GFM/GFC 氣體質量流量計質量流量控制器

量程達1000L/min，可跟蹤的NIST證書

GFM/GFC 氣體質量流量計質量流量控制器

GFC能控制流量比率，設置點通過現場電位器

或通過一個遠程的0到5VDC或4到20mA

模擬信號來進行調整。

流量范圍	GFM流量計		GFC流量控制器
流量范圍	鋁	不銹鋼	鋁	不銹鋼
0-10 SCCM	GFM-S1101	GFM-S2101	GFC-S1101	GFC-S2101
0-20 SCCM	GFM-S1102	GFM-S2102	GFC-S1102	GFC-S2102
0-50 SCCM	GFM-S1103	GFM-S2103	GFC-S1103	GFC-S2103
0-100 SCCM	GFM-S1104	GFM-S2104	GFC-S1104	GFC-S2104
0-200 SCCM	GFM-S1105	GFM-S2105	GFC-S1105	GFC-S2105
0-500 SCCM	GFM-S1106	GFM-S2106	GFC-S1106	GFC-S2106
0-1 L/min	GFM-S1107	GFM-S2107	GFC-S1107	GFC-S2107
0-2 L/min	GFM-S1108	GFM-S2108	GFC-S1108	GFC-S2108
0-5 L/min	GFM-S1109	GFM-S2109	GFC-S1109	GFC-S2109
0-15 L/min	GFM-S1111	GFM-S2111	GFC-S1111	GFC-S2111
0-30 L/min	GFM-S1131	GFM-S2131	GFC-S1131	GFC-S2131
0-50 L/min	GFM-S1133	GFM-S2133	GFC-S1133	GFC-S2133
0-100 L/min	GFM-S1142	GFM-S2142	GFC-S1142	GFC-S2142
0-200 L/min	GFM-S1143	GFM-S2143	GFC-S1143	GFC-S2143
0-500 L/min	GFM-S1144	GFM-S2144	GFC-S1144	GFC-S2144
0-1000L/min	GFM-S1145	GFM-S2145	GFC-S1145	GFC-S2145

量程是相當于氮氣在21°C@ 760 毫米汞柱的流量

GFM/GFC 氣體質量流量計質量流量控制器

GFM氣體質量流量計 GFC氣體質量流量控制器 GFT流量累計器

GFM/GFC 氣體質量流量計質量流量控制器

規格

介質：與接液部件兼容的清潔氣體

接液材質： GFM/GFC-S1XXX:

鋁, 銅,316不銹鋼和Viton® O型圈;

GFM/GFC-S2XXX:

316不銹鋼和Viton® O型圈

精度：滿量程時±1.5%包括線性以上

在5-25°C和0.35-4bar條件下

重復性：滿量程的±0.5%

反應時間：實際流量的±2%以內是2秒

輸出：線性0-5VDC和4-20mA

zui大微粒尺寸： 5微米

工作溫度： 32-122°F (0-50°C)

電源： ±12VDC

過程連接：流速≤50L/m卡套接頭是1/4″；

100和200L/m是3/8″；

500L/m是1/2″； 1000L/m是3/4″

壓力范圍： 500psig(34.5bar)

泄漏率：氦氣的1 x 10^-7 sccs

顯示器：可90°傾斜，3-1/2數字

認證： CE

流量比率不受溫度和壓力變化的影響

高精度和高重復性

3位數字的液晶顯示

包括一份NIST跟蹤記錄證書

可與GFT流量累計器一起用于測定累計流量

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