納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
納米壓痕儀能通過實時記錄力和對應位移深度的曲線來測量納米或微米級薄膜材料力學性能。儀器不僅提供納米壓痕功能，同時也提供納米劃痕功能和臺階儀功能，即不僅可以滿足薄膜硬度、彈性模量等性能的測量，還可實現(xiàn)薄膜與基體之間的結(jié)合力和定量表面形貌的測量。
納米壓痕儀具有哪些優(yōu)勢特點？
（1）試樣制備簡單。納米壓痕儀測試一般對試樣表面粗糙度有特殊要求，對被測試樣的形狀尺寸并無特殊要求，壓入深度在微納米尺度，是一種無損測試方法。
（2）測量分辨力高。
（3）操作方便。利用載荷-深度曲線，可直接換算得到接觸面積，無需對殘余壓痕面積進行測定。
（4）測試內(nèi)容豐富。利用納米壓痕儀測試不僅可以獲得硬度、彈性模量，還可以獲得塑性參數(shù)、斷裂參數(shù)、黏彈參數(shù)等。
（5）應用范圍廣。可廣泛應用于金屬、陶瓷、薄膜材料、復合材料、生物材料、特殊功能材料、微機電系統(tǒng)中微構(gòu)件等眾多材料和結(jié)構(gòu)的力學測試。
