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KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測(cè)試儀，方塊電阻測(cè)試儀可對(duì)金屬層厚度、薄膜電阻、薄膜電阻率、薄膜電導(dǎo)和薄膜電導(dǎo)率進(jìn)行測(cè)繪。R54是方塊電阻測(cè)量...

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量功能。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維...

KLA iMicro納米壓痕儀可輕松測(cè)量硬質(zhì)涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準(zhǔn)確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度測(cè)試、劃痕和納米級(jí)萬(wàn)能試驗(yàn)等多種納米力學(xué)測(cè)試...

KLA Candela® 8720表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)先進(jìn)的集成式表面和光致發(fā)光(PL)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)可以捕獲各種關(guān)鍵襯底和外延缺陷。采用統(tǒng)計(jì)制程控制(SP...

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)第二代集成式光致發(fā)光和表面檢測(cè)系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于對(duì)碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進(jìn)行高級(jí)表征。采用統(tǒng)計(jì)制...

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)它使用多通道檢測(cè)和基于規(guī)則的缺陷分類，對(duì)不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、...

KLA Filmetrics F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x采用自動(dòng)化R-Theta平臺(tái)，支持標(biāo)準(zhǔn)和定制化樣品夾盤，最大樣品直徑達(dá)450毫米，能高效測(cè)繪薄膜厚度。該設(shè)備適...

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀能夠測(cè)量幾納米到1200微米高的2D臺(tái)階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對(duì)粗糙度、彎曲度和應(yīng)力...

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量功能。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維...

半導(dǎo)體薄膜生長(zhǎng)表面檢測(cè)KLA Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。D-600 還支持2...

KLA Filmetrics F40薄膜厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)將顯微鏡轉(zhuǎn)變?yōu)楸∧y(cè)量工具，實(shí)現(xiàn)小至1微米光斑的厚度和折射率測(cè)量。該設(shè)備配備集成彩色攝像機(jī)，可在1秒內(nèi)完成...

KLA Filmetrics F30薄膜厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控沉積過(guò)程，提供高精度、快速且非侵入式的測(cè)量解決方案，適用于多種半導(dǎo)體和電介質(zhì)材料。其主要特點(diǎn)包括提...

KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列，涵蓋近紅外光波長(zhǎng)范圍980 nm、1310 nm及1550 nm，能夠測(cè)量從15納米至3毫米的薄膜厚...

KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測(cè)量系統(tǒng)專為微小視野及樣品設(shè)計(jì)，支持快速、簡(jiǎn)易的厚度測(cè)量，適用于聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層等。其具備自動(dòng)校正功能，可...

KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)同時(shí)測(cè)量反射和透射光譜，實(shí)現(xiàn)真空鍍膜的快速、精確分析。該設(shè)備價(jià)格合理，具備分析、FWHM確定及顏色分...

KLA Filmetrics F10-HC薄膜厚度測(cè)量?jī)x是一款專為測(cè)量單層和多層硬涂層設(shè)計(jì)的儀器，基于F20平臺(tái)，采用光譜反射分析技術(shù)，提供快速準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。...

KLA Filmetrics F20臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng);經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的膜厚儀系列在幾秒鐘內(nèi)就能完成高精度的薄膜厚度測(cè)量。這些易于使用的儀器與智能軟件和一系列附件和...

KLA Filmetrics F10-ARc薄膜厚度測(cè)量?jī)x便攜式反射儀帶有內(nèi)部光纖，利用具有長(zhǎng)壽命、低功率光源可以測(cè)量曲面上的減反射涂層厚度。以極低的價(jià)格在幾秒...

KLA Filmetrics F10-AR薄膜厚度測(cè)量?jī)x便攜式反射儀帶有內(nèi)部光纖，利用具有長(zhǎng)壽命、低功率光源可以測(cè)量曲面上的減反射涂層厚度。以極低的價(jià)格在幾秒鐘...

KLA NanoFlip納米壓痕儀可在真空和氣氛條件下，準(zhǔn)確、精密地進(jìn)行硬度、模量、屈服強(qiáng)度、剛度和其它納米力學(xué)性能的測(cè)試。無(wú)論在掃描電子顯微鏡(SEM)或是聚...