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SID4-UVHR波前傳感器

Phasics利用其*的四波橫向剪切干涉技術(shù)，在紫外波前測量提供了優(yōu)秀的解決方案。它有非常高空間分辨率（250x250測量點(diǎn)）和在190-400nm范圍具有高靈敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是*適用于光學(xué)元件的特性（用于光刻技術(shù)、半導(dǎo)體…）和表面檢查（透鏡和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地適應(yīng)各種實(shí)驗(yàn)條件。

   SID4-UVHR                    光學(xué)器件測量                  自適應(yīng)光學(xué)

特點(diǎn)：

由于其*的技術(shù)技術(shù)，Phasics的SID4-UVHR波前傳感器具備以下特點(diǎn)：

1.超高分辨率：250x250測量點(diǎn)

2.高靈敏度：0.5nm

3.通光孔徑大：8*8mm

4.直接測量：光學(xué)元件和表面質(zhì)量

應(yīng)用：

SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應(yīng)用：

紫外激光器：光束測試與校正

光學(xué)測量：UV光學(xué)測試（半導(dǎo)體…）和表面測量

SID4-UVHR產(chǎn)品參數(shù)：