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臺階儀

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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 P-170
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 上海

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更新時間:2023-07-24 11:31:49瀏覽次數:1996

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產品簡介

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 醫療衛生,生物產業,電子,汽車    
P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170具有的圖案識別算法、增強的光學系統和的平臺,這了性能的穩定和系統間配方的無縫移植- 這是24x7生產環境的關鍵要求。

詳細介紹

P-170 臺階儀

P-170臺階儀cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170具有的圖案識別算法、增強的光學系統和的平臺,這了性能的穩定和系統間配方的無縫移植- 這是24x7生產環境的關鍵要求。


產品描述

P-170cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統的測量性能和經過生產驗證的HRP-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統提供了極低的擁有成本,適用于半導體,化合物半導體和相關行業。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統結合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備的測量穩定性。通過式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可以支持2D3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

主要功能

·       臺階高度:幾納米至1000μm

·       微力恒力控制:0.0350mg

·       樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

·       視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機

·       圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·       軟件:簡單易用的軟件界面

·       生產能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

·       晶圓機械傳送臂:自動加載75mm200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍寶石)樣品

主要應用

·       臺階高度:2D3D臺階高度

·       紋理:2D3D粗糙度和波紋度

·       形狀:2D3D翹曲和形狀

·       應力:2D3D薄膜應力

·       缺陷復檢:2D3D缺陷表面形貌

工業應用

·       半導體

·       化合物半導體

·       LED:發光二極管

·       MEMS:微機電系統

·       數據存儲

·       汽車

·       還有更多:請與我們聯系以滿足您的要求


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