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EVG-光刻機-掩模對準系統
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貨物所在地:北京北京市

地: 奧地利

更新時間:2024-10-16 21:00:07

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EVG的發明,例如1985年世界上一個底面對準系統,開創了頂面和雙面光刻,對準晶圓鍵合和納米壓印光刻技術并樹立了行業標準。

掩模對準系統

 

EVG的發明,例如1985年世界上一個底面對準系統,開創了頂面和雙面光刻,對準晶圓鍵合和納米壓印光刻技術并樹立了行業標準。 EVG通過不斷開發新一代掩模對準器產品來增強這些核心光刻技術,從而在這些領域做出了貢獻。

 

EVG的掩模對準系統可容納尺寸多達300 mm的晶圓和基板,尺寸,形狀和厚度各不相同,旨在為高級應用提供復雜的解決方案,并具有高度的自動化程度,并為研發提供充分的靈活性。 EVG的掩模對準器和工藝能力已經過現場驗證,并已安裝在的生產設施中,以支持眾多應用,包括先進封裝,化合物半導體,功率器件,LED,傳感器和MEMS制造。

 

 

 

EVG®610    掩模對準系統

設計用于光學雙面光刻的掩模對準器。

 

EVG®620NT    半自動/自動光罩對準系統

設計用于光學雙面光刻的掩模對準器。

 

EVG®6200NT    半自動/自動光罩對準系統

設計用于光學雙面光刻的掩模對準器。

 

IQAligner®    自動掩模對準系統

EVG IQ Aligner平臺經過優化,可用于大200 mm晶圓的自動非接觸式接近處理。

 

IQAligner®NT    自動掩模對準系統

針對非接觸式接近處理進行了優化,以實現高的吞吐量。準確的打印間隙控制和的正常運行時間*可以滿足HVM的要求。

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