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北京亞科晨旭科技有限公司

中級(jí)會(huì)員 | 第7年

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當(dāng)前位置：北京亞科晨旭科技有限公司>>微納加工平臺(tái)-圖形發(fā)生>>電子束曝光>> CRESTEC超高分辨率電子束光刻EBL（CABL-UH series）

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產(chǎn)品型號(hào)CRESTEC

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所在地北京市

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更新時(shí)間：2024-09-25 15:31:58瀏覽次數(shù)：2111次

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產(chǎn)品分類品牌分類

微納加工平臺(tái)-圖形發(fā)生: Hybrid Bonding 混合鍵合聚焦離子束加工電子束曝光納米壓印光刻/鍵合系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	150萬-200萬
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池

納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀(jì)先進(jìn)納米科技提供的電子束納米光刻（EBL）系統(tǒng)，或稱電子束直寫（EBD）、電子束爆光系統(tǒng)。

詳情介紹

超高分辨率電子束光刻EBL
Ultrahigh Resolution EB Lithography (CABL-UH series)

納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是好的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀(jì)先進(jìn)納米科技提供的電子束納米光刻（EBL）系統(tǒng)，或稱電子束直寫（EBD）、電子束爆光系統(tǒng)。

超高分辨率的電子束光刻CABL-UH系列的型號(hào)包括：
CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV)