微流控-紫外納米壓印設備EVG600系列簡介

EVG公司成立于1980年，公司總部和制造廠位于奧地利，在美國、日本和中國臺灣設有分公司，并在其他各地設有銷售代理及售后服務部，產品和服務遍及世界各地。

EVG公司是一家致力于半導體制造設備的供應商，其豐富的產品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統、基片清洗機、基片檢測系統、SOI 基片鍵合系統、基片臨時鍵合/分離系統、納米壓印系統。

目前已有數千臺設備安裝在世界各地，被廣泛地應用于MEMS微機電系統/微流體器件，SOI基片制造，3D封裝，納米壓印，化合物半導體器件和功率器件等ling 域。

EVG是世界上為數不多的可以商業化納米壓印設備的著ming公司，可為客戶提供完整的納米壓印方案，包括熱壓印、紫外壓印、微接觸印刷。EVG公司以其專li的極其優異的對準技術和世界ling 先的熱壓技術為納米壓印的成功實施打下了堅實的基礎。

EVG620紫外納米壓印用于從印章到襯底的紫外圖形轉移。EVG620自動納米壓印系統允許襯底和印章的尺寸從很小的芯片到150mm直徑的圓片范圍。用于納米技術應用的配置包括印章機械釋放、程序控制高或低的接觸壓力。EVG*的吸盤設計支持軟印章和硬印章壓印，可以保證大面積納米壓印的均勻壓力，從而保證獲得很高的良率。

微流控-紫外納米壓印設備應用范圍

納米壓印技術主要應用于如下方面

LEDS 制作，LED PSS納米壓印工藝，LED納米透鏡陣列；微流體學；芯片實驗室；抗反射層； 納米壓印光柵； 蓮花效應；光子帶隙；光學及通訊：光晶體，激光器件；生物技術解決方案：醫藥分析，血液分析，細胞生長。

主要特點

1. 適用于紫外納米壓印和微接觸印刷；

2. 紫外光曝光；

3. 配備的紫外納米壓印工具；

4. 適于軟或硬印章壓印；

5. 適用襯底：Si，玻璃，化合物半導體。