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質量流量控制器，采用傳感器和溫度補償技術，因此產(chǎn)品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應不同的環(huán)境溫度。同時，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產(chǎn)品快可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差小化

所需流量更加。



質量流量控制器采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。

? CS200產(chǎn)品嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造，尺寸符合通用的SEMI標準。

? CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。

? 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

? 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。

CS200A，甲烷，2SLM，8mm卡套，RS485通訊，大工作壓力0.45MPa,壓差0.05-0.35MPa

技術參數(shù)
類型： CS200-A
閥類型：常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)或常閉
流量規(guī)格(N2)：(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
準確度：±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性：±0.5% F.S.
重復精度：±0.2% F.S.
響應時間：≤ 1sec
工作壓差范圍：
0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM
0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM，＜0.02 MPa
大工作壓力：0.45MPa
溫度系數(shù)：零點： ≤±0.05% F.S./℃；
調節(jié)時： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM
調節(jié)時： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM
耐壓強度：3MPa
漏率：1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料：氟橡膠
工作環(huán)境溫度：（5～45）℃
輸入信號：數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
輸出信號：數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂：在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源：±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學成分：常態(tài)
表面粗糙度：25 Ra
標準接頭形式：
雙卡套 φ6；雙卡套 1/4′′；雙卡套 3/8′′；VCR1/4′′陽接頭；雙卡套φ3；
雙卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭；
φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;
電源接頭形式：D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭

重量：1 Kg