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合肥辰越自動化工程有限公司

行業韓國LS中空軸APM-HB03HBH-GY

時間:2014-10-10閱讀:2394
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APM-HB03HBH-GY

韓國邁克彼恩Mecapion ,其前身為韓國麥特斯Metronix 株式會社成立于1995年,于2007年3月份正式更名為邁克彼恩Mecapion,是韓國zui大的自動化設備及機械裝置方面的核心部件即旋轉編碼器、伺服系統等產品的開發研制、生產、銷售和售后服務的優良企業,并獲得了ISO9001質量體系認證。開發完成半導體設備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機適用于涂膠,顯影及清洗工程

實現率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據客戶的要求,定做各種SPinner電機

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封,強化耐環境性

表面進行特殊涂布處理,強化耐腐蝕性

應用范圍:

  1,半導體制造工業

  2,設備應用

  A.曝光顯影設備(涂膠,顯影)光刻加工程序的主要設備及掌控涂層,曝光,顯影。

  B.清洗、蝕刻設備用于蝕刻,清洗,去膜設備。

  C.清洗設備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。

  技術含量

  設備條件

  高轉速(5000rpm~8000rpm)真空軸

  加/減速時間冷卻系統(水冷系統)

  低噪音和振動zui低公差

  中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制

  采用重疊設計是尺寸zui小化

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