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[供應]真空冷阱捕集泵-鍍膜冷阱真空深冷機水汽捕集泵
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  • 真空冷阱捕集泵-鍍膜冷阱真空深冷機水汽捕集泵
貨物所在地:
北京北京市
產地:
北京
更新時間:
2023-05-23 15:04:17
有效期:
2023年5月23日 -- 2023年11月20日
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產品簡介

鍍膜冷阱真空深冷機水汽捕集泵
永佳-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
(提供polycold冷媒及維修)
水汽捕集泵 又稱:POLYCOLD、快速循環水汽深冷泵

詳細介紹

鍍膜冷阱真空深冷機水汽捕集泵

永佳真空深冷機不同型號規格

 

 

型  號

ZK-1100D12

ZK-1100D16

ZK-1100D16L

ZK-1100D18

ZK-1100D18L

功率(KW)

10

14

14

18

18

zui大制冷量(W)(-100℃)

2000

3000

3000

4000

4000

電  源

380V,50HZ

抽速L/S

149200

238200

238200

372500

282000

預冷時間(min)

30

除霜時間(min)

≤3

≤3

≤3

≤4

≤4

再降溫時間(min)

≤3

≤3

≤3

≤3

≤3

低溫管表面積(㎡)

1

1.8

1.5

2.5

2

低溫管規格

20m

38m

雙路15m

50m

雙路20m

冷卻方式

水冷,水溫≤30℃

冷水流量(t/h)

1.6

2.5

2.5

3

3

冷水接口尺寸(mm)

16

16

16

19

19

需冷水機功率(HP)

5

8

8

10

10

適用油泵直徑(mm)

≤800

≤900

≤600

1000或1200

≤800

適用真空腔室直徑(mm)

≤1300

≤1500

≤1000

≤1800

≤1500

永佳真空深冷機適用領域

   1半導體 2太陽能薄膜制程 3光纖市場 4平板顯示 5裝飾鍍膜、卷繞鍍膜、光學鍍膜

鍍膜冷阱真空深冷機水汽捕集泵

鍍膜冷阱真空深冷機水汽捕集泵

應用原理:
    在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
    深冷泵的工作原理:將一個能到-120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應,迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間)、獲得潔凈的真空環境(真空度可提高半個數量級,達到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在實際應用當中,根據所放的位置不同可以分為兩類(見圖):
1、水汽捕集器
    它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置,使盤管每次開門之前恢復到常溫,避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜,影響下次抽真空。  
2、低溫冷阱
    放在油擴散泵的泵口,高閥以下,它主要功能是防止油擴散泵返油,同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態,無需除霜裝置。
根據需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝.
 
 北京德馨永嘉公司研發生產的-135℃深冷水汽捕集泵,采用單臺壓縮機、自動復疊制冷方式、進口壓縮機及制冷配件、環保混合型制冷劑生產,替代液氮,節約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便等特點,其性能指標在國內處于地位,達到甚至超過*水平。
  主要的性能特點 

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