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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁 |
Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE
·適用6寸以下樣品的處理
·用于塑膠材料表面的處理
·配置自動/手動模式，實現(xiàn)控制高機能
·桌上型，省空間
·適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
·表面清洗活化
·表面蝕刻
| 型號 | FEMTO RIE(防腐)*1 | FEMTO RIE(防腐)*1 |
| 控制方式 | 按鍵操作控制 | Windows CE 7”觸摸屏操作控制 |
| 操作方式 | 手動 | 手動/自動 |
| 程序存儲 | — | 50組 |
| 工藝過程監(jiān)控 | — | 二維折線圖與數(shù)字實時顯示 |
| 程序偏離值 | — | 抽真空時間、進氣量偏差值，實際功率輸出 |
| 報錯功能 | — | 顯示詳細的報錯信息 |
| 數(shù)據(jù)導入導出 | — | USB |
| 選程控制 | — | 選配 |
| 工藝氣路 | 單路，雙路，三路 | |
| 工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1 | |
| 流量計 | 針閥流量計（可選防腐針閥流量計）*1 | MFC流量計（可選防腐MFC流量計）*1 |
| 沖洗氣路 | 一路 | |
| 泄氣氣路 | 一路 | |
| 真空計 | 指針式/0-10mbar | 數(shù)字式/0-9.99mbar |
| 計時器 | 0~999.9H | |
| 真空腔體 | 不銹鋼圓形腔體 蓋子門帶觀察窗 尺寸Φ190mm x H60mm 容積1.7L | |
| 電極 | 不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm | |
| 發(fā)生器 | 40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W | |
| 外形尺寸（WxDxH） | 560 x 600 x 860mm | |
| 電源 | AC230 V / 16 A | |
| 真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa | |
| 選配功能 | 托盤冷卻,腔體溫度監(jiān)控,冷水綱 | |
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