13當前位置：> 供求商機> TCVD--OTF-1200X-S2-5-小型雙爐體滑動管式爐TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
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| 爐體結構 | 兩個爐體在一個滑動軌道上，爐體高工作溫度1200℃ | ||
| 每個爐體加熱區為200mm,恒溫區為60mm | |||
| 一個滑動軌道安裝在兩爐體底部，可手動推動爐體滑動 | |||
| 儀器中配有不銹鋼密封法蘭 | |||
| 總功率 | 2.5KW | ||
| 電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, （需要20A的空氣開關） | ||
| 高工作溫度 | 1200℃ | ||
| 連續工作溫度 | 1100℃ | ||
| 加熱&冷卻速率 | 加熱速率: | 冷卻速率: | 注意: |
| 15°C/sec (RT - 150°C); | 15°C/sec (1000 - 950°C); | 大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現的，將爐體加熱到目標溫度，然后滑動爐體到樣品位置來實現快速加熱。對樣品加熱后，滑動爐體，使樣品暴露在加熱區外，來實現快速冷卻 | |
| 10°C/sec (150°C - 250°C); | 10°C/sec (950°C - 900°C); | ||
| 7°C/sec (250°C - 350°C); | 7°C/sec (900°C - 850°C); | ||
| 4°C/sec (350°C - 500°C); | 4°C/sec (850°C - 750°C); | ||
| 3°C/sec (350°C - 550°C); | 2°C/sec (750°C - 600°C); | ||
| 2°C/sec (550°C - 650°C); | 1.5°C/sec (600°C - 500°C); | ||
| 1°C/sec (650°C - 800°C); | 1°C/sec (500°C - 400°C); | ||
| 0.5°C/sec (800°C - 1000°C); | 0.5°C/sec (400°C - 300°C); | ||
| 加熱區長度 | 每個爐體的加熱區為200mm | ||
| 恒溫區 | 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C) | ||
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 | ||
| 爐管 | 高純石英管 | ||
| 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL | |||
| 溫度控制系統 | 兩個爐體都采用PID方式來調節溫度，可設置30段升降溫程序。 | ||
| 控溫儀表操作視頻 | |||
| 設置有超溫和斷熱偶報警 | |||
| 包括2個K型熱電偶（已安裝在爐體上） | |||
| 可選:可選擇控制模塊MTS-02，可使用電腦來控制爐體的升降溫 | |||
| 真空法蘭 | 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機械壓力表 | ||
| 可選購KF25接口的法蘭（提高抽氣速率)，數顯真空計 | |||
| 滑軌長度 | 1200mm | ||
| 真空度 | 10E-5 torr（采用分子泵） | ||
| 10E-2 torr（采用機械泵） | |||
| 可在本公司選購真空泵 | |||
| 可選 | 可選擇電動滑軌，更好的控制快速升降溫速率 | ||
| 1-9通道質量流量計（MFC）控制的供氣系統 | |||
| 100W-500W的射頻等離子源 | |||
| 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統 | |||
| 尺寸 | 1500 x 380 x 620 mm（爐體＋滑軌） | ||
| 凈重 | 約80kg | ||
| 質保期 | 一年質保期，終身維護（不包括爐管、密封圈和加熱元件） | ||
| 質量認證 | CE認證 | ||
| 所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL/MET/CSA認證 | |||
| 本公司保證此設備通過TUV(UL61010）或CSA認證（需額外出認證費用） | |||
| 使用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa | ||
| 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全 | |||
| 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM | |||
| 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 | |||
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