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蒸汽烘箱正確的使用方法應該先抽真空再升溫加熱。待達到了額定溫度后如發現真空度有所下降時再適當加抽一下。這樣做對于延長設備的使用壽命是有利的。
工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件，氣體遇熱就會膨脹。熱風循環烘箱由于真空箱的密封性非常好，膨脹氣體所產生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個潛在的危險。按先抽真空再升溫加熱的程序操作，就可以避免這種危險。
加熱后的氣體被導向真空壓力表，真空干燥箱真空壓力表就會產生溫升。如果溫升超過了真空壓力表規定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產生示值誤差
如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時候，熱量必然會被帶到真空泵上去，從而導致真空泵溫升過高，有可能使真空泵效率下降。