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SYPT-2平行平晶（千分尺計(jì)量建標(biāo)專用）
一．產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
SYPT-2平行平晶（檢測(cè)千分尺計(jì)量建標(biāo)專用）是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來(lái)測(cè)量被測(cè)量面的誤差程度。平行平晶用用于干涉法測(cè)量檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測(cè)量面的平面度和兩相對(duì)測(cè)量的平行度。適用于光學(xué)加工廠、廠礦企業(yè)計(jì)量室、精密加工車間、閥門(mén)密封面現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)使用，也適用于高等院校、科學(xué)研究等單位做平面度等檢測(cè)。
二．功能特點(diǎn)：
1.具有高精度的平面性和平行性。
2.采用A級(jí)光學(xué)玻璃，穩(wěn)定性好，無(wú)色透明。
3.壽命長(zhǎng)、不受環(huán)境溫度影響。
三．技術(shù)指標(biāo)：
每組平行平晶共四塊，分四個(gè)尺寸系列組
測(cè)量面上平面度偏差： <0.1μm
平面度局部偏差： >0.03μm
測(cè)量面平行度誤差： 組Ⅰ系列允差值：0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm
組Ⅳ系列允差值：0.1μm
四．平行平晶規(guī)格分類：
平行平晶共分四個(gè)系列，每組四塊。
組Ⅰ | 平行平晶 | 0－25mm | 4塊/組 |
組Ⅱ | 平行平晶 | 25－50mm | 4塊/組 |
組Ⅲ | 平行平晶 | 50－75mm | 4塊/組 |
組Ⅳ | 平行平晶 | 75－100mm | 4塊/組 |
平行平晶尺寸系列表
組號(hào) | 0－25 | 25－50 | 50－75 | 75－100 |
1 | 15.00，15.12 | 40.00，40.12 | 65.00，65.12 | 90.00，90.12 |
2 | 15.12，15.25 | 40.12，40.25 | 65.12，65.25 | 90.12，90.25 |
3 | 15.25，15.37 | 40.25，40.37 | 65.25，65.37 | 90.25，90.37 |
4 | 15.37，15.50 | 40.37，40.50 | 65.37，65.50 | 90.37，90.50 |
5 | 15.50，15.62 | 40.50，40.62 | 65.50，65.62 | 90.50，90.62 |
6 | 15.62，15.75 | 40.62，40.75 | 65.62，65.75 | 90.62，90.75 |
五．工作原理：
平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測(cè)量平行度誤差的，故其測(cè)量方法稱為平晶干涉法（圖2）,也稱技術(shù)光波干涉法。測(cè)量時(shí),把平晶放在被測(cè)表面上,且與被測(cè)表面形成一個(gè)很小的楔角 θ，以單色光源照射時(shí)會(huì)產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測(cè)表面，且平晶與被測(cè)表面間的間隙很小,則由平晶測(cè)量面P反射的光線與被測(cè)表面反射的光線在測(cè)量面 P發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下，則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直，相互平行,且分布均勻,則表示被測(cè)表面的平面度很好；如干涉條紋彎曲，則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長(zhǎng)，白光的平均波長(zhǎng)為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量，ω為干涉帶間距。
