普發氦質譜檢漏儀

高性能移動型檢漏儀——ASM 390

高性能 – 移動式 ASM 390、ASM 392

對大型測試對象進行快速抽氣和短響應時間

ASM 390 和 ASM 392氦質譜檢漏儀 是理想的泄漏檢測解決方案，適用于半導體和顯示器行業以及其他以快速抽氣和高靈敏度為關鍵的苛刻應用。兩個裝置均符合 Semi S2 標準。

這些檢漏儀配備了干式無摩擦前級泵和強大的高真空泵，使其成為在清潔環境中對各種組件進行泄漏測試的理想工具。 ASM 392 配備額外的渦輪分子泵，將加快泄漏檢測過程，減少生產設備的停機時間。

干式氦檢和移動性

ASM 390 和 ASM 392 可用于半導體和顯示器產業以及其他要求嚴格的應用，這些應用需要快速的抽空時間和高靈敏度。兩種型號都符合 Semi S2 標準。

這些氦質譜檢漏儀都裝備干式非接觸前級泵和強大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環境下各種組件泄漏測試的理想工具。ASM 392裝有一臺額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測流程，降低生產設

備的停機時間。

耐用、精確、可靠

ASM 390 和 ASM 392 的開發是基于實現任何等級的操作人員都能上手的設備。他們都可以在最短的時間里提供良好性能和結果，從而在現場提高效率。

符合人機工學且操縱靈敏

ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺，人機工學設計，尺寸和高度合適，前部有一輔助手柄，顯示器可自由旋轉、可拆卸，前部入口易于連接測試端口，可操作性強，可用于各種測試場地，即使狹小的空間也應對自如。

精巧智能且用戶友好

通過色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化隔倉和真空波紋管存儲的集成工具箱，在使用地點所有需要的附件無不齊備，您會感嘆泄漏檢測多么輕松。

產品優勢

• 高機動性和緊湊的設計

• 好的泄漏測試性能

• 大型可旋轉彩色觸摸屏

• 高粗加工能力 (35 m3/h)，可實現快速疏散

• 干燥清潔泵送技術

• 維護要求低

• 工作表面符合人體工學設計

• 污染情況下快速恢復

• 直觀的菜單，方便操作

• 用于存放配件的集成工具箱

• 快速啟動

• 高靈敏度和準確的測量

• 符合半 S2 標準

應用領域

半導體 鍍膜 太陽能 粒子加速 真空管件（貫通器材、閥門、波紋管、伸縮接頭）鐳射技術 超純物質 電子元器件 航天 醫藥

ASM390尺寸圖：