Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀（PFS）

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀（PFS），專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā)，支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集，精準(zhǔn)測量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng)，幫助客戶實現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級，為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進提供科學(xué)依據(jù)。

產(chǎn)品特點：

• 數(shù)據(jù)輸出及可視化：符合 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)

• 高通量檢測：可檢測低至 0.5 um 顆粒

• 快速：10 秒完成 2 英寸面積檢測

• 定量：適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗證與監(jiān)測

生產(chǎn)過程中的一致性測量

快速: 秒級連續(xù)監(jiān)測

定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗證與監(jiān)測 

易操作: 操作員簡單培訓(xùn)即可使用

精準(zhǔn): 高分辨率測量（數(shù)量、時間線、位置、尺寸）

一致性: 可重復(fù)的客觀測量結(jié)果

高吞吐量: 現(xiàn)場實時分析

監(jiān)測顆粒沉積速率（DPRL）

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀（PFS）采用緊湊的工 業(yè)設(shè)計，依據(jù) ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)，監(jiān)測顆 粒沉積速率（DPRL）。該設(shè)備使工藝/質(zhì)量工程師能夠?qū)崟r 監(jiān)控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區(qū)域的顆粒沉降情況。

在關(guān)鍵區(qū)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)監(jiān)測

區(qū)別于傳統(tǒng)的僅監(jiān)測空氣懸浮顆粒，該系統(tǒng)可以對關(guān)鍵表 面的顆粒污染控制和潔凈度驗證進行持續(xù)監(jiān)測。 亞微米級顆粒并非始終懸浮于空氣中，它們可能沉積于關(guān) 鍵表面，影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量。

該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒，并可每 隔 10 秒左右對晶圓表面的顆粒進行連續(xù)粒子沉降監(jiān)測。 其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5（通過 NIST 認證），并準(zhǔn)確量化 沉降速率。 軟件界面簡單直觀，可以一鍵生成報告。

Fastmicro PFS  是  一 款 高 精 度 原 位 檢 測 顆 粒 的 儀 器，幫 助 工 程 師 應(yīng) 對潔凈工藝控制挑戰(zhàn)。

結(jié)合 Phenom XL 掃描電鏡，可以 便捷高效的進一步對顆粒物進行成分表征和溯源分析。