革命性的原子力顯微鏡（AFM），可實(shí)現(xiàn)與掃描電子顯微鏡（SEM）的無(wú)縫集成，為原位關(guān)聯(lián)顯微鏡開辟新可能。

憑借優(yōu)化設(shè)計(jì)，LiteScope AFM 兼容賽默飛世爾、TESCAN、蔡司、日立、JEOL 等主流品牌 SEM 系統(tǒng)及其配件，其他品牌電鏡亦可定制適配。

測(cè)量模式：

• 機(jī)械性能：AFM，能量耗散，相位成像

• 電性能：C-AFM、KPFM、EFM、STM

• 磁性能：MFM

• 電機(jī)械性：PFM

• 光譜學(xué)：F-z

 曲線，I-V 曲線

• 相關(guān)性分析：CPEM

AFM-SEM 同步聯(lián)用技術(shù)（通用版）

實(shí)用特點(diǎn)

• 原位樣品表征

在 SEM 內(nèi)部的原位條件下確保樣品分析同時(shí)、同地、同條件下進(jìn)行，并且在飛納電鏡內(nèi)部也能實(shí)現(xiàn)原子級(jí)分辨率

• 精確定位感興趣區(qū)域

  SEM 與 AFM 原位聯(lián)用，保證了同一時(shí)間、同一地點(diǎn)和相同條件下的分析 使用 SEM 畫面，實(shí)時(shí)觀測(cè)探針與樣品的相對(duì)位置，為探針提供導(dǎo)航，精準(zhǔn)定位

• 實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的樣品分析需求

  提供電氣、磁學(xué)、光譜等多種測(cè)量模式，且能同一位置直接聯(lián)用 SEM 及 EDS 功能。同時(shí)獲取 AFM 與 SEM 數(shù)據(jù)，并將其無(wú)縫關(guān)聯(lián)

鋼和合金的復(fù)合分析

利用原子力顯微鏡對(duì)雙相鋼進(jìn)行復(fù)合分析，揭示了表面形貌（AFM）、鐵 氧體晶粒的磁疇結(jié)構(gòu)（MFM）、晶粒相比（SEM）和表面電位雜質(zhì)開爾文 探針力顯微分析法。 • 相關(guān)多模態(tài)分析揭示了復(fù)雜的性質(zhì) • 掃描電鏡精確定位 ROI，AFM 綜合分析

電池的原位表征

固態(tài)電池（SSB）比鋰離子電池顯示出更高的能量密度、更長(zhǎng)的壽命和更 好的安全性。由鋰鎳錳鈷氧化物（NMC）顆粒組成的正極膠帶在手套箱中 經(jīng)過(guò) 200 個(gè)周期后被打開，原位切割并使用 AFM-in-SEM 測(cè)量。

 樣品提供： Aleksandr Kondrakov, BELLA (DEU)

• 在 CAM 橫截面處對(duì)局部電導(dǎo)率（C-AFM）進(jìn)行表征

• 無(wú)需空氣暴露即可原位制備敏感 CAM

納米線的優(yōu)良表征

懸掛蜘蛛絲納米線因其機(jī)械性能而被研究，通過(guò)超精確定位AFM 尖在懸掛的納米線上。力-距離光譜學(xué)使得確定納米線的彈性和塑性 變形成為可能。

樣品提供： Linnea Gustafsson, KTH (SWE)。

• SEM： 精確定位 AFM 尖和納米線變形的實(shí)時(shí)觀察

• 分析屬性如楊氏模量和抗拉強(qiáng)度

選配件

納米壓痕模塊

納米壓痕模塊能夠在使用超高倍數(shù)掃描電子顯微鏡觀察樣品的同時(shí)進(jìn) 行微機(jī)械實(shí)驗(yàn)，并利用 LiteScope 以亞納米級(jí)分辨率對(duì)壓痕樣品進(jìn)行 分析

NenoCase 與數(shù)碼相機(jī)

在環(huán)境條件或不同氣氛下將 LiteScope 作為獨(dú)立 AFM 使用，通過(guò)數(shù)碼 相機(jī)精確導(dǎo)航探針。

樣品旋轉(zhuǎn)模塊

適用于 FIB 后進(jìn)行 AFM 分析。此外還允許同時(shí)安裝多個(gè)樣品實(shí)現(xiàn)在不 打開 SEM 腔室的情況下即可對(duì)多個(gè)樣品進(jìn)行測(cè)試。