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潔凈室檢測常用的儀器儀表

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一般計量儀表的精確度是分級的,對于1級儀表,其誤差限是大量程的1%。例如:對于大量程為100℃的溫度計,其誤差為±1℃;對于大量程為30℃的溫度計,其誤差為±0.3℃。如果被測量的溫度是20℃,使用大量程為100℃的1級溫度計,測得值的相對誤差為±5%;使用大量程為30℃的1級溫度計,測得值的相對誤差為±1.5%。由此可見,使用精確度等級相同的儀表,由于大量程不同,其測得值的相對誤差的差別很大。因為同等精確度下大量程越大誤差越大,所以在可能的條件下應(yīng)盡量選用量程較小的儀表。
1、溫度計
溫度計有多種,其中玻璃溫度計的可靠性較好。如果潔凈室內(nèi)使用其他類型的溫度計,應(yīng)該另外準(zhǔn)備一個精確度較高的玻璃溫度計,作為校準(zhǔn)其他溫度計的比對性標(biāo)準(zhǔn)器。
(1)玻璃溫度計。玻璃溫度計是根據(jù)液體熱脹冷縮原理制造的。常用的液體是酒精或水印。這種溫度計雖然準(zhǔn)確可靠,但反應(yīng)較慢,讀數(shù)不直觀,不適合用于自動控制。玻璃溫度計讀數(shù)時應(yīng)注意不能用手直接接觸液體球的外壁,讀數(shù)時眼睛應(yīng)該平視。
(2)數(shù)字溫度計。數(shù)字溫度計的原理有多種,優(yōu)點是讀數(shù)直觀,適合于自動控制,但有時可靠性較差。
2、濕度計
(1)干濕球濕度計。液體揮發(fā)會吸收熱量,致使溫度下降;濕度越低,液體揮發(fā)得越快,溫度下降得越多。根據(jù)這個原理制造出干濕球濕度計。干濕球濕度計具有結(jié)構(gòu)簡單、價格低廉的優(yōu)點,但讀數(shù)比較麻煩,不適合用于自動控制。
(2)毛發(fā)濕度計。毛發(fā)濕度計是根據(jù)脫脂毛發(fā)隨濕度變化而變化的原理制造出來的。指針式的毛發(fā)濕度計結(jié)構(gòu)簡單、價格低廉,但不適合用于自動控制。
(3)露點濕度計。露點濕度計的原理是首先測定露點溫度,根據(jù)露點溫度對應(yīng)的飽和水蒸氣分壓力與干球溫度對應(yīng)的飽和水蒸氣分壓力計算相對濕度。通過直接觀察確定是否結(jié)露的準(zhǔn)確度較差,根據(jù)鏡面反射光的強(qiáng)度確定是否結(jié)露的準(zhǔn)確度較高。所以有直觀的露點濕度計,還有光電式露點濕度計。使用溫度傳感器測定露點溫度的光電式露點濕度計不僅精確度高,而且可以實現(xiàn)數(shù)字顯示。
(4)電容濕度計。電容濕度計的原理是:高分子薄膜吸收或釋放水分子的時候電容值發(fā)生變化,測定高分子薄膜的電容值可以確定空氣的濕度。常用的高分子材料是丁酸纖維素。電容濕度計可以用數(shù)字顯示濕度,便于監(jiān)測和控制。
(5)電阻濕度計。電阻濕度計的原理是:金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體或高分子材料吸收或釋放水分子的時候電阻值發(fā)生變化,測定該多孔狀陶瓷體或高分子材料的電阻值就可以確定空氣的濕度。用氧化鎳陶瓷制造的濕度傳感器壽命長、穩(wěn)定性好,應(yīng)用較廣泛。電阻濕度計也可以用數(shù)字顯示濕度,便于監(jiān)測和控制。
3、氣壓計
(1)U形氣壓計。加入液體后,一頭與大氣連通,另一頭與被測的氣體連通,利用兩個玻璃管中的液面差測量氣壓差。結(jié)合已知的大氣壓數(shù)值,可得到被測的氣壓值。U形氣壓計中常用的液體是純水、水銀、乙醇等。同樣長度的U形氣壓計,液體的密度越大,量程越大,精確度越低;液體的密度越小,量程越小,精確度越高。所以,應(yīng)該根據(jù)量程和精確度選用適當(dāng)?shù)囊后w。
(2)斜管微壓計。可以理解為U形氣壓計的變形。一般情況下,U形氣壓計的玻璃管垂直讀數(shù),斜管微壓計的玻璃管傾斜讀數(shù)。玻璃管傾斜后,同樣的壓差在玻璃管中顯示的距離較大,讀數(shù)的精確度較高。所以與U形氣壓計比較,斜管微壓計的讀數(shù)精確度要高一些。
(3)精密微壓計。此儀器結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,雖然也是用純水顯示壓力,然而采用放大鏡瞄準(zhǔn)、螺紋微調(diào)、游標(biāo)讀數(shù),可以達(dá)到更高的精確度。
(4)彈性氣壓計。此儀器是利用物體彈性制造的氣壓計。彈性氣壓計種類繁多,應(yīng)用范圍廣泛。
(5)壓差計。壓差計與壓力計經(jīng)常是可以通用的。有時可以測出壓力計算出壓差,有時又可以測出壓差計計算出壓力。U形氣壓計就是一種典型的通過測壓差計算壓力的儀器。
(6)電子壓力計。此儀表一器般是通過壓力傳感器、電子線路和顯示器直接用數(shù)字顯示壓力的數(shù)值。
4、風(fēng)速計
(1)熱效應(yīng)風(fēng)速計。熱效應(yīng)風(fēng)速計分熱線風(fēng)速計和熱球風(fēng)速計兩種。這兩種風(fēng)速計的原理和和結(jié)構(gòu)相似,其特點是靈敏度較高、穩(wěn)定性較差。
(2)旋翼式風(fēng)速計。旋翼式風(fēng)速計有一定的摩擦阻力。以前摩擦阻力較大、靈敏度較低,隨著技術(shù)的進(jìn)步,阻力減小,靈敏度提高,應(yīng)用范圍越來越大。
(3)氣壓風(fēng)速計。氣壓風(fēng)速計的原理是根據(jù)氣體的動壓確定風(fēng)速。一般使用皮托管和微壓計測定氣流的靜壓和全壓,用全壓減去靜壓得到動壓。這種測定方法的可靠性較高,但是比較麻煩,而且要求壓力計的靈敏度較高。
5、風(fēng)量計
(1)罩式風(fēng)量計。可以使用風(fēng)速計測量風(fēng)向垂直截面上各點的風(fēng)速,取平均值乘以截面積得到風(fēng)量。根據(jù)這個原理,將多個風(fēng)速計組合在一起制造出罩式風(fēng)量計,可以直接測定風(fēng)量。
(2)浮子流量計。浮子流量計也稱為轉(zhuǎn)子流量計,是一種常用的氣體流量計。一般情況下,浮子流量計用于測量中等流量的氣流,如10~500L/min。
(3)皂膜流量計。皂膜流量計也是一種常用的流量計。一般多用于測量小流量的氣流。
6、聲級計
聲級計是根據(jù)聲音振動的能量確定噪聲的聲級,其顯示方式有指針式和數(shù)字式兩種,新制造的多是數(shù)字式。
7、照度計
照度計根據(jù)照射到的光的能量確定照射光的強(qiáng)度,一般用數(shù)字顯示照度值。

 

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