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MOS-500維修案例——slit卡住
問題表現:
儀器初始化自檢的過程中報錯,提示“Impossible to initialize slit”,或初始化一直無法完成,如圖1。打開儀器主機外殼后可以觀察到,Slit部件在初始化自檢過程中運動受阻,發生卡滯,如圖2。圖 1 初始化一直無法完成
圖 2 Slit的位置
原因分析:
Slit為運動部件,機械部分隨著使用時間延長,潤滑油消耗,摩擦力過大造成卡滯。
處理方法:
在slit部件的兩個萬向節以及所有與轉動軸有接觸的部分加潤滑油,而后手動旋轉轉動軸使slit部件充分潤滑。潤滑油可以用移液槍(或滴管)吸取,點在對應位置少量。如圖3、圖4。
圖3 Slit 卡滯處理方法(1)
圖4 Slit 卡滯處理方法(2)
注:
1. Slit卡滯的問題通常都可以通過添加潤滑油解決,用戶可以在Slit卡滯現象消除后設置1nm、5nm等不同的slit大小,使Slit部件運轉順滑。
2.涂潤滑油時避免污染透鏡鏡片。
3. 用戶可以選擇固定半年/一年時間添加一次潤滑油。