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致茂 7201光伏硅片表面臟污檢測機
可用來檢測硅片長度、寬度、對角線、邊緣 夾角、導角尺寸以及導角角度等，同時也可以檢測表面瑕 疵。設計完善的軟體以及操作介面可供使用者設定不同的 檢測參數來達到檢測結果，同時也提供瑕疵顯示以及儲存 功能來留待日后進行MES/CIM的分析以及整合。
致茂 7201光伏硅片表面臟污檢測機的特色：
- 可整合到任何硅片分選機上
- 可調整式的演算法可供檢測5"、6"以及單晶、多晶、準單晶等各種硅片
- 多樣化介面選擇可與不同設備或者MES系統連線
- 可進行金剛線切割硅片的檢測
- 自我監測以及校正系統
