臺面尺寸（mm）

200×200

行程（mm）

25

分辨率（8細分）

0.0005

重復定位精度（mm）

0.003

螺桿導程（mm）

1.5

標配電機

57步進電機（1.8°）

靜轉距（N.M）

1.2

額定工作電流

2.8

速度（2細分）

10mm/s

中心承載（kg）

50

自重（kg

7.5

結

構

參

數

X,Y軸行程

100 mm

臺面尺寸

300×300mm

螺桿導程

4 mm

導軌

精密交叉滾柱導軌

步進電機（步距角）

42(1.8°)

主體材料

鋁合金

表面處理

陽極氧化發黑

臺面中心承載

50 kg

平臺自量

8.3 kg

精

度

參

數

分辨率

20μm（無細分），2.5μm（8細分）

速度

40mm /sec

重復定位精度

2μm

定位精度（選配光柵）

3μm

直線度

5μm

運動平行度

15μm

俯仰

50″

偏擺

25″

回程間隙

2μm

丟步

2μm

可加裝光柵尺（G）

可換伺服電機（D）