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氦離子氣相色譜儀克服了色譜分析的一些難點

時間:2022/1/10閱讀:1568
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  色譜分析一直是氣體質(zhì)量控制的重要手段之一,但5N及以上純度的高純、超純氣體和電子工業(yè)用氣體的分析是色譜分析的難點。不僅樣品中要檢測的雜質(zhì)種類多,而且含量很低,而且空分產(chǎn)品中的雜質(zhì)容易被空氣成分污染,需要長期吹掃更換。電子工業(yè)所用氣體具有易吸附性、腐蝕性、在水中結(jié)晶、在水中變化特性等特性。
  氦離子氣相色譜儀就是針對上述問題研制的。產(chǎn)品采用全新工業(yè)設(shè)計,配備超高靈敏度脈沖放電氦電離檢測器,將被測成分的響應(yīng)提高到ng/g級(10-9);采用超低泄漏率的卡套或VCR接頭連接進(jìn)樣閥和吹掃保護(hù)氣路,有效隔離樣品與空氣,避免空氣污染;真空負(fù)壓取樣系統(tǒng)不僅可以大大減少樣品的更換次數(shù),而且可以避免電子工業(yè)所用氣體中與水接觸的SiCl4、HF和SiH4的輻射和結(jié)晶;EP級管線和經(jīng)過特殊處理的色譜柱支架的應(yīng)用,避免了樣品吸附對分析的影響。

 

氦離子氣相色譜儀
 

 

  氦離子氣相色譜儀采用由多個吹掃進(jìn)樣閥和多個色譜柱組成的多閥多柱的中心切割和反吹分離技術(shù)。通過色譜工作站設(shè)定的時間程序自動控制取樣、切換、切割和反吹過程。一臺儀器可實現(xiàn)高純氮氣、高純氬氣、高純氧氣、高純氦氣、高純氫氣的分離分析高純二氧化碳、氪氣、氙氣等高純空分氣體和霓虹燈;還可針對電子工業(yè)中使用的三氟化氮、六氟化硫、六氟化鎢、三氯化硼、氯化氫、磷、硼、砷、硅、鍺烷等氣體制定具體的分析方案。
  氦離子氣相色譜儀內(nèi)部設(shè)計了三個獨立的連接流程,可連接本地處理(實驗室現(xiàn)場)、單位主管(如質(zhì)檢科長、生產(chǎn)廠長等)和上級主管(如環(huán)保局、技術(shù)監(jiān)督局等),使人員可以方便地監(jiān)控儀器運行情況,實時分析數(shù)據(jù)結(jié)果。
  1、儀器配備5.7英寸真彩顯示屏,顯示清晰、音色優(yōu)雅、大氣;
  2、系統(tǒng)有中英文兩套操作系統(tǒng),可自由切換;
  3、溫控區(qū)域可由用戶自由命名,方便用戶使用;
  4、儀器采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,設(shè)計清晰,更換升級方便,保護(hù)投資效益。
 

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