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[供應]MX61-工業檢測顯微鏡
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  • MX61-工業檢測顯微鏡
貨物所在地:
北京北京市
更新時間:
2021-03-26 21:00:02
有效期:
2021年3月26日 -- 2021年9月26日
已獲點擊:
283
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產品簡介

詳細介紹

總評

        Olympus MX61是對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號(反射透射兼用),可以應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等,實現了舒適的檢查環境。配備14×12英寸載物臺,能應對大型樣本。

       

UIS 2物鏡生成鮮明的觀察影像

        UIS 2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容,可按照用途選用。另外,波像差控制帶來的高品質,忠實于樣本的中性色彩顯示等,UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數碼影像觀察中都能發揮它的性能。

       

主要操作集中配置在前面板上

        在對比度的決定上起重要作用的亮度光圈(AS)的開閉調節,與物鏡的切換和觀察模式連動,用一個按鈕就可以操作。此外,用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對焦手柄,只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度,能夠防止錯誤操作。

       

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

        為了適應視點而調整座椅的高度,或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMI S8對應)的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢,甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離,可以在較大的平臺上輕松操作。

       
                                                            傾斜鏡筒示意圖

安全快速的搬運晶圓

        MX61能與自動晶圓搬送機組合,組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執行從內面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外,晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器,那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。

       *自動晶圓搬送機AL110 詳情請點擊: http://www.recotech。。com.cn/product_details.aspx?pid=48

       
                        自動晶圓搬送機AL110(200 mm規格)組合

 快速切換物鏡,提高檢查速度

        電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機,在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。

           
                                                 電動物鏡轉換器示意圖

變換物鏡,亮度光圈(AS)也隨之調節

        每次變換物鏡時都需要調節亮度光圈(AS)的話,會影響檢查速度。MX61對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS(14級),只要切換物鏡就能以zui合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調節AS,提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。

       
                                                       AS自動調節示意圖

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

        對應300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍(Y方向284 mm)。另外,內置離合器的載物臺夾子,可切換粗調和細調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,快速完成檢查。

       
                                             內置離合器的載物臺夾子 

使用數碼照相機記錄和保存數碼影像

        三目鏡筒可以安裝數碼照相機。可以保存和記錄數碼影像,幫助創建觀察報告。可依據用途從圖像質量、功能、使用方便性等方面選擇數碼照相機。

半導體/FPD檢查顯微鏡 MX61 規格

光學系統 UIS2光學系統(無限遠校正)
機身 觀察方法   明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
  反射/透射   反射/透射
  照明裝置   機身一體型(明視場,暗視場+1選件)
  照明系統 反射照明 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
    透射照明 纖維光導
  對焦單元 電動/手動 手動
    行程 32 mm
    分辨率/微調靈敏度 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm
    zui大樣本高度 30 mm
  物鏡轉換器 電動型 明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
    手動式 -
載物臺 行程   8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm(透射照明范圍189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm
觀察筒 廣角視場(視場數22) 倒置 雙目/三目觀察筒
    正像 三目觀察筒
  超寬視場(視場數26.5) 倒置 三目觀察筒
    正像 傾斜三目觀察筒
附件單元 DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載
外形尺寸 509(W)×843(D)×507(H)mm(標準組合)
重量 40 kg(標準組合)

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